首页 » 报告公示 » 建设项目安全验收评价

盛联精密气体(上海)有限公司中芯国际12英寸芯片SN1和SN2项目配套大宗气体气站配套气体供应系统(一阶段)安全验收评价

2021-04-07 00:44:23

 

评价项目名称

盛联精密气体(上海)有限公司中芯国际12英寸芯片SN1和SN2项目配套大宗气体气站配套气体供应系统(一阶段)安全验收评价

评价类型

安全验收评价

项目基本概况:

2016年由于中芯国际厂区扩大生产,公司原有气体生产能力和供应能力不能满足其需求,故盛联精密气体(上海)有限公司在现有厂区内开展了大宗气站技术改造扩建项目,为保证供气质量及提升供气能力,需在中芯国际厂区设置中间供气站。经与中芯国际集成电路制造(上海)有限公司协商,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司将厂区西南角预留地块(占地面积约4690.81m2)划定为配套大宗气体气站配套气体供应系统用地,在地块上新建1座供气站,气站内新建了1栋占地面积693.75m2、建筑面积1399.98m2的纯化用房、1栋占地面积672.98m2、建筑面积672.98m2的供氢站及1座占地面积157.96m2的储罐区。气站土建部分由中芯国际集成电路制造(上海)有限公司负责立项及建设,盛联精密气体(上海)有限公司租赁中芯国际集成电路制造(上海)有限公司气站内厂房及用地敷设配套气体供应系统,以用于供应中芯国际集成电路制造(上海)有限公司兄弟公司中芯南方集成电路制造有限公司生产所需氢气、氮气、氧气、氩气、氦气、压缩空气等气体。盛联精密气体(上海)有限公司根据中芯12英寸芯片SN1和SN2项目开展进展,考虑投资成本,对配套气体供应系统分阶段进行建设,现一阶段已建设内容如下:

类型

建构筑物

建设内容

占地面积(m2

建筑面积(m2

火灾危险性类别

耐火等级

建筑物

供氧站

3台4000Nm3氢气长管拖车、2台氦气长管拖车、2台150Nm3/h氢气纯化器、2台300Nm3/h氢气过滤器、3台60Nm3/h氦气过滤器及1个10m3液氮储罐

672.98

672.98

甲类

二级

纯化用房

3台6000Nm3/h氮气纯化器、2台120Nm3/h氧气纯化器、4台12000Nm3/h氮气过滤器、2台12000Nm3/h高纯氮气过滤器、2台18000Nm3/h压缩空气过滤器、2台6800Nm3/h高纯压缩空气过滤器、4个200m3压缩空气缓冲罐、1台360Nm3/h压缩空气增压机及8套在线分析设备、1台200kW柴油发电机、3台203kW冰水主机(风冷型)、2套报警阀组、2台100m3/h冰水泵

693.75

1399.98

丙类

二级

构筑物

储罐区

1个100m3工艺液氧储罐

157.96

--

乙类

--             

2个1200Nm3/h工艺氧气汽化器
2台600Nm3/h工艺氧气过滤器
1个30m3高纯液氧储罐
4台120Nm3/h高纯氧气过滤器
2个200Nm3/h高纯氧气汽化器
1个30m3液氩储罐

戊类

--

2台100Nm3/h氩气过滤器
2个200Nm3/h氩气汽化器

另本项目还包括配套厂内输气管道的敷设等。

 

盛联精密气体(上海)有限公司中芯国际12英寸芯片SN1和SN2项目配套大宗气体气站配套气体供应系统项目一阶段建设内容已于2019年6月安装完成,并于8月初设备投入试运行调试。公司采取分阶段验收模式,特委托上海赛源环境检测技术有限公司对中芯国际12英寸芯片SN1和SN2项目配套大宗气体气站配套气体供应系统(一阶段)进行安全验收评价。

地理位置及周边环境描述:

盛联精密气体(上海)有限公司租赁位于中国(上海)自由贸易试验区张江路18号的中芯国际集成电路制造(上海)有限公司厂区西北角大宗气体气站用地(占地面积约4690.81m2)及厂房用于开展中芯国际12英寸芯片SN1和SN2项目配套大宗气体气站配套气体供应系统项目,建设项目所在地块位于张江高科技园区内,在上海市经信委公布的104个工业区块内,建设项目所在区域与盛联精密气体(上海)有限公司自有厂区的距离约230m。

盛联精密气体(上海)有限公司中芯国际12英寸芯片SN1和SN2项目配套大宗气体气站配套气体供应系统位于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司厂区西北角。建设项目所在厂区东面为张江路,隔路为绿化空地,120m为马家浜河道;南面为郭守敬路,隔路为上海华虹宏力半导体制造有限公司、上海新先锋制药厂;西面北部隔厂区围墙为上海卓多姿中信化妆品有限公司,西面南部为哈雷路,隔路为日月光封装测试(上海)有限公司及盛联精密气体(上海)有限公司自有厂区;北面为龙东大道和1条10kV输电线,隔路为东郊花园和梨园新城;东北角为张江加油站和浦东分局交警支队第五大队。

建设项目所在地块东侧为中芯国际二氧化碳气站、厂内次要道路及一般仓库(GWH8),隔围墙为张江加油站和浦东分局交警支队第五大队;南侧为中芯国际厂内次要道路及生产调度室;西侧隔厂区围墙为上海卓多姿中信化妆品有限公司;北侧隔厂区围墙为1条10kV输电线和龙东大道,隔路为东郊花园和梨园新城。

评价项目组长

谷丰

技术负责人

聂同军

过程控制负责人

唐江荣

报告编制人

谷丰、吴婷婷

审核人

蒋爱玲

项目组成员

阎水红、顾佩聪、郑水华、冯秀龙、吴婷婷

现场调查

第一次现场调查的目的和任务:

目的:了解项目基本概况,评价单位周边环境,以及防护间距,现场发现问题。

任务:现场实地调查,资料收集。

结果:收集资料,确定方案。

 

现场调查人员:谷丰、唐江荣               时间:2020.3.18

第二次现场勘查目的和任务:

目的:核实危险化学品的生产原料,生产工艺,完善评价报告附件资料。

结果:收集补充评价附件资料,单位确认。

现场调查人员:谷丰、唐江荣             时间:2020.5.19

 

第三次现场勘查目的和任务:

目的:核实现场安全设施及整改情况确认,完善评价报告附件资料。

结果:收集补充评价附件资料,单位确认。

现场调查人员:谷丰、唐江荣          时间:2020.8.12

 

评价报告完成时间: 2021.3.2(包含验收代替生产许可证变更取证)